供應(yīng)高精度激光干涉儀測量設(shè)備SJ6000

• 規(guī)格：613×460×230mm
• 品牌：中圖儀器
• 用途：運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌精度的診斷校準(zhǔn)

SJ6000高精度激光干涉儀測量具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

性能特點(diǎn)

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①SJ6000高精度激光干涉儀測量使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量兩種功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

SJ6000高精度激光干涉儀測量除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后可以測量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。

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